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晶圆检测设备

闪德资讯 | 专注存储行业的新媒体平台。 2022/09/30 14:14

晶圆检测设备分为量测和缺陷检测两大类,其中量测类设备主要用来测量透明或不透明薄膜厚度、掺杂浓度、关键尺寸、套准精度等指标,缺陷检测类设备主要用来检测晶圆表面的缺陷。近年来,在我国半导体产业迅速发展的背景下,晶圆市场规模飞速扩展,晶圆检测设备行业作为晶圆行业的重要组成部分,也随之不断发展。

目前国内晶圆检测设备与国外相比还有较大的差距,国产化率极低,设备来源主要依靠于进口。国产晶圆检测技术与设备还处于初步发展阶段,美国、以色列、德国、日本等国家在晶圆检测设备领域处于领先地位。2020全球晶圆制造环节检测设备市场规模接近85亿美元,近年来,随着国内半导体行业不断发展,中国半导体晶圆检测设备的市场规模占全球比例也不断攀升,预计2022年将达到16亿美元。国内晶圆检测设备行业正在加快发展,本土企业还有很大的国产化空间。

据市场调查网发布的《中国晶圆检测设备市场发展形势现状及行业前景预测研究报告》显示,全球晶圆检测设备行业集中度较高,美国科磊公司是全球市场的龙头企业,市场占比高达56%,其次是应用材料和日立高新,分别占比13%、11%,三家合计占全球晶圆检测设备市场的80%。

晶圆检测设备市场被国外公司垄断,国内公司占市场份额比例极低。但随着国内集成电路应用领域不断扩展,晶圆需求量不断增加,晶圆检测设备市场还有很大的发展空间。国产晶圆检测设备企业主要代表是上海睿励、上海精测和中科飞测,本土企业正在加速提升技术水平,部分设备已经实现了国产替代,例如上海精测在量测设备领域已经取得了一定的成果。   

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