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2022年全球与中国静电卡盘市场现状及未来发展趋势(简报)

恒州博智信息咨询 | 专注为企业提供细分数据分析 2022/09/29 23:14

 

静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体,它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。该产品广泛应用于 PVD PECVD ETCH EUVL 、离子注入等高端半导体制造装备。

静电卡盘行业目前现状分析

【地区发展情况】 静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建,中国大陆成为半导体设备市场规模增长最快的地区,进而推动静电卡盘市场的快速增长。

【高度垄断性】 静电卡盘市场具有高度垄断性,主要由日本和美国等企业主导,包括美国应用材料、美国 LAM 、日本新光电气、日本 TOTO 等公司。前四大企业占据 90% 以上的全球市场份额。

 静电卡盘发展趋势

【技术趋势】 除所承载晶圆规格尺寸逐步增大之外, 静电卡盘的发展趋势主要表现为温度均匀性控制需求提升,即分区温控温区数量的提高。 2000 年前后,分区温控温区数量一般为 2 区, 2000 年至 2005 年期间,分区温控温区数量一般为 4 区,而在现阶段,已有超过 100 温区的静电卡盘产品被研发生产并投入实际应用。

【市场趋势】 未来,亚太地区将会快速增长,尤其是中国大陆、台湾、韩国等国家。预计 2028 年中国、台湾、韩国分别占据全球 21.72% 20.21% 17.81% 的销量市场份额。

全球静电卡盘市场规模、行业现状概况

2021 年全球静电卡盘市场销售额达到了 17.14 亿美元,预计 2028 年将达到 24.12 亿美元,年复合增长率( CAGR )为 5.06% 2022-2028 )。从销量上看, 2021 年全球静电卡盘销量为 5.54 万件, 2028 年将达到 7.99 万件。

静电卡盘市场具有高度垄断性,主要由日本和美国等企业主导,包括美国 Applied Materials 、美国 LAM 、日本新光电气、日本 TOTO 、日本 NTK 等公司。美国公司,如 Applied Materials Lam ,为自己的半导体设备生产静电卡盘。他们将生产的 PVD CVD 等设备配套静电卡盘一起卖晶圆代工厂或 IDM 公司,由于静电吸盘属于消耗品,使用寿命一般不超过两年,因此静电吸盘的替换量比较大。

Applied Materials Lam Research SHINKO 位居 2021 年全球半导体静电吸盘市场收入份额前三名。 Applied Materials 43.86% 的收入市场份额占据全球主导地位, Lam Research SHINKO 31.42% 10.20% 的收入份额紧随其后。

静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建,中国半导体设备销售额占全球比例快速上升。 2021 年,中国静电卡盘市场规模达到了 3.19 亿美元,预计 2028 年将达到 5.24 亿美元, 2022-2028 年复合增长率( CAGR )为 7.16%

中国和台湾在半导体静电吸盘领域已经有了一定的技术突破。中国大陆企业北京优精密科技有限公司的静电卡盘技术已达到客户要求。台湾公司 CALITECH 在静电卡盘领域也有一定的突破。

目前中国市场的主要厂商包括: Applied Materials Lam Research

SHINKO TOTO Creative Technology Corporation 等, 2021 年主要厂商( top3 )份额占比超过 93.52% ,预计未来几年行业竞争将更加激烈。

全球静电卡盘销量及销售额分析

新知达人, 2022年全球与中国静电卡盘市场现状及未来发展趋势(简报)

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静电卡盘行业供应链分析

【上游情况】上游原材料为氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷。市场集中度较高,多数集中在日本、美国等。

【静电卡盘行业情况】 静电卡盘市场具有高度垄断性,主要由日本和美国等企业主导,包括美国 AMAT 、美国 LAM 、日本新光电气、日本 TOTO 等公司。我国北京华卓精科科技开发出 12 英寸 PVD 氮化铝静电卡盘,在一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面。

【下游情况】目前国产半导体设备在逐渐替代进口设备,主要的半导体生产设备企业包括中微、沈阳拓荆、北方华创等。

相关报告:【2022-2028全球与中国静电卡盘市场现状及未来发展趋势】

本报告研究全球与中国市场静电卡盘的产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为 2017 2021 年,预测数据为 2022 2028 年。

主要厂商包括:

Applied Materials

Lam Research

SHINKO

TOTO

Sumitomo Osaka Cement

Creative Technology Corporation

Kyocera

Entegris

NTK CERATEC

NGK Insulators, Ltd.

II-VI M Cubed

Tsukuba Seiko

瑞耘科技

北京华卓精科科技

按照不同产品类型,包括如下几个类别:

库仑型

迥斯热背型

按照不同应用,主要包括如下几个方面:

300mm 晶圆

200mm 晶圆

其他

按照不同消费者,主要包括如下几个方面:

晶圆供应商

半导体设备原始生产商 (CVD PVD IMP ETCH )

重点关注如下几个地区

北美(美国、加拿大)

欧洲(德国、英国、法国、俄罗斯、意大利等)

亚太(台湾(中国)、中国(不含台湾)、日本、韩国等)

拉丁美洲(巴西)

中东非洲

本文正文共 10 章,各章节主要内容如下:

1 章:报告统计范围、产品细分及主要的下游市场,行业现状及趋势等

2 章:全球总体生规模(产量、销量、销售收入等数据, 2017-2028 年)

3 章:全球范围内静电卡盘主要厂商竞争分析,主要包括静电卡盘销量、收入、市场份额、价格、产地及行业集中度分析

4 章:全球静电卡盘主要地区分析,包括销量、销售收入等

5 章:全球静电卡盘主要厂商基本情况介绍,包括公司简介、静电卡盘产品介绍、销量、收入、价格等

6 章:全球不同产品类型静电卡盘销量、收入、价格及份额等

7 章:全球不同应用静电卡盘销量、收入、价格及份额等

8 章:全球不同消费者静电卡盘销量、收入、价格及份额等

9 章:产业链、上下游分析、销售渠道分析等

10 章:行业动态、增长驱动因素、发展机遇、有利因素、不利及阻碍因素、行业政策等

11 章:报告结论

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